| 发明名称 |
POLYMERIC ANTIREFLECTIVE COATINGS DEPOSITED BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1397260(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.17 |
| 申请号 |
EP20010946350 |
申请日期 |
2001.06.12 |
| 申请人 |
BREWER SCIENCE, INC. |
发明人 |
SABNIS, RAM;GUERRERO, DOUGLAS, J. |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/11;C08F2/46;C23C14/12;C23C14/28;G02B1/11;H01L21/027;(IPC1-7):B44C1/22;H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
