| 主权项 |
1.一种光罩之制造方法,其特征是包含有:光罩制成步骤,将第1所希望光罩图型分成为第1光罩图型部和第2光罩图型部,对其各个分别进行描绘,显像和蚀刻,用来分别的制成具有上述之第1光罩图型部之第1光罩和具有上述之第2光罩图型部之第2光罩;和第1重叠步骤,组合上述之第1光罩和上述之第2光罩,使上述之第1光罩图型部和上述之第2光罩图型部排列成为上面之间和下面之间分别在同一平面上,重叠成为上述之第1所希望光罩图型;其中为了获得包含有与上述第2光罩图型部相同之光罩图型之第2所希望光罩图型,更包含有:第3光罩图型制成步骤,个别的进行描绘,显像和蚀刻,用来制成具有第3光罩图型部之第3光罩;和第2重叠步骤,组合上述之第2光罩和上述之第3光罩,使上述之第2光罩图型部和上述之第3光罩图型部排列成为上面之间和下面之间分别在同一平面上,重叠成为上述之第2所希望光罩图型。2.如申请专利范围第1项之光罩之制造方法,其中上述之第1光罩图型部需要第1精确度水准,上述之第2光罩图型部需要比上述之第1精确度水准低之第2精确度水准。3.如申请专利范围第1项之光罩之制造方法,其中上述之第1光罩图型部是该光罩所特有者,上述之第2光罩图型部是通用者。4.如申请专利范围第1项之光罩之制造方法,其中在上述之第1重叠步骤,充填充填材料,使上述之第1光罩和上述之第2光罩之间不会产生间隙。5.一种光罩,其特征是具备有个别制成之具有第1光罩图型之第1光罩,和具有第2光罩图型之第2光罩,使上述之第1光罩和上述之第2光罩重叠,组合成使上述之第1光罩图型和上述之第2光罩图型排列成为上面之间和下面之间分别在同一平面上。6.如申请专利范围第5项之光罩,其中在上述之第1光罩和上述之第2光罩之间充填有充填材料。图式简单说明:图1是本发明之实施形态1之光罩之制造方法之流程图。图2是说明图,用来表示以本发明之实施形态1之光罩之制造方法进行光罩图型之分割之实例。图3是使用本发明之实施形态1之光罩之制造方法所制作之第1光罩之平面图。图4是使用本发明之实施形态1之光罩之制造方法所制作之第2光罩之平面图。图5是使用本发明之实施形态1之光罩之制造方法所进行之贴合步骤之说明图。图6是本发明之实施形态1之光罩之一实例之剖面图。图7是本发明之实施形态1之光罩之另一实例之剖面图。图8是根据习知技术之光罩之制造方法之流程图。 |
