| 发明名称 |
Method for etching |
| 摘要 |
Methods for etching metal oxide films, especially tin oxide.
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| 申请公布号 |
US2004045930(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.11 |
| 申请号 |
US20030455744 |
申请日期 |
2003.06.06 |
| 申请人 |
FELDMAN TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
MCLEAN DOUGLAS;FELDMAN BERNARD |
| 分类号 |
C23F1/16;C03C17/23;C03C17/34;C04B41/53;C09K13/04;H01L31/18;(IPC1-7):C23F1/00;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68 |
主分类号 |
C23F1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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