发明名称 |
Verfahren zum Aufschleuderbeschichten einer dicken Keramikschicht mit einem Sol-Gel-Verfahren |
摘要 |
Verfahren zum Erzeugen einer dicken Keramikschicht mit einem Sol-Gel-Verfahren, wobei dem mit Lösungsmittel versetzten Sol ein Keramikpulver homogen beigegeben wird, durch Lösungsmittelentzug das Sol nach Auftrag auf das Substrat zu einer Schicht mit Gelstruktur gewandelt wird, durch Pyrolyse des Gels die Keramikschicht erzeugt wird, und gemahlenem Glas vor der Pyrolyse zugegeben wird.
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申请公布号 |
DE10225972(B3) |
申请公布日期 |
2004.03.04 |
申请号 |
DE20021025972 |
申请日期 |
2002.06.11 |
申请人 |
FACHHOCHSCHULE KIEL |
发明人 |
ES-SOUNI, MOHAMMED;PIORRA, ANDRE |
分类号 |
C03C17/00;C04B35/624;C04B41/45;C04B41/87;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C04B35/624 |
主分类号 |
C03C17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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