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发明名称 ELEKTRISCHER KONTAKTOR, INSBESONDERE EIN WAFERKONTAKTOR, UNTER VERWENDUNG DES DRUCKES VON FLÜSSIGKEITEN ODER GASEN
摘要
申请公布号 DE60007999(D1) 申请公布日期 2004.03.04
申请号 DE20006007999 申请日期 2000.08.10
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 ELDRIDGE, BENJAMIN
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;H01R12/24;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/316 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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