发明名称 Verfahren zum Betrieb eines Totaldrucktransmitters
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Totaldrucktransmitters, welcher aus mindestens zwei Sensorelementen besteht. In einem höheren Druckbereich von ca. 10·-3· bis 1000 mbar wird der Druck mit einem ersten Sensorelement erfasst. Ein zweites Sensorelement, in der Regel ein Heißkathodensensor, bleibt während dieser Zeit außer Betrieb. Dadurch wird dieser geschont und die Standzeit verlängert. Zur Kalibrierung des unteren Stützpunktes des ersten Sensorelementes genügt es, wenn in größeren Abständen zu diesem Zweck das Heißkathodensystem eingeschaltet wird.
申请公布号 DE10238961(A1) 申请公布日期 2004.03.04
申请号 DE2002138961 申请日期 2002.08.24
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 SCHOPPOFF, ANDREAS
分类号 G01L15/00;G01L21/12;G01L21/32;G01L27/00;(IPC1-7):G01L21/10 主分类号 G01L15/00
代理机构 代理人
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