具有缓冲性能的边缘夹持校准器

摘要

本发明涉及一种具有缓冲性能的边缘校准器(100)以及用于增加晶片通过装置的处理量的方法。根据一个实施例，本发明有第一和第二缓冲器臂(106a、106b)以及夹头臂(104)。工件可以在支承于夹头臂(104)上时对齐。当工件对齐后，夹头臂将工件传递给缓冲器臂(106a、106b)，这样，第二工件可以在夹头臂(104)上对齐。当第二工件进行对齐时，末端执行器能够将第一工件从缓冲器臂(106a、106b)上取走，并取回另一工件，以便布置在夹头臂(104)上。

主权项

1.一种处理工具，包括：第一和第二缓冲器臂，所述第一和第二缓冲器臂用于在打开位置和闭合位置之间运动，并用于当所述第一和第二缓冲器臂处于闭合位置时支承工件；以及夹头臂，该夹头臂用于支承工件，并在所述夹头臂和所述第一和第二缓冲器臂之间传递工件。