发明名称 Method of manufacturing a trench-gate semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1393362(A2) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 EP20020727822 申请日期 2002.04.25
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 PEAKE, STEVEN, T.;PETKOS, GEORGIOS;FARR, ROBERT, J.;ROGERS, CHRISTOPHER, M.;GROVER, RAYMOND, J.;FORBES, PETER
分类号 H01L21/336;H01L29/78;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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