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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
AU2003255013(A1)
申请公布日期
2004.03.03
申请号
AU20030255013
申请日期
2003.08.12
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
KIYOTAKA ISHIBASHI;TOSHIHISA NOZAWA
分类号
H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46;B01J19/08;H01L21/31
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
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