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发明名称 CORRECTION OF BIREFRINGENCE IN CUBIC CRYSTALLINE PROJECTION LENSES AND OPTICAL SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1393114(A2) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 EP20020752014 申请日期 2002.05.31
申请人 OPTICAL RESEARCH ASSOCIATES 发明人 HOFFMAN, JEFFREY, M.;MCGUIRE, JAMES, P.
分类号 G02B13/24;G02B5/00;G02B5/30;G02B17/08;G02B27/00;G02B27/28;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/24 主分类号 G02B13/24
代理机构 代理人
主权项
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