| 发明名称 |
Reticle manipulating device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003254198(A8) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
AU20030254198 |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION, INC. |
发明人 |
RUDY FEDERICI;CLINT HARIS;JAKOB BLATTNER;WILLIAM JOHN FOSNIGHT |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G49/07;G03F7/20;G06F7/00;H01L;(IPC1-7):G06F7/00 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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