| 发明名称 |
METHOD AND COMPOSITIONS FOR HARDENING PHOTORESIST IN ETCHING PROCESSES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003257999(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
AU20030257999 |
申请日期 |
2003.07.31 |
| 申请人 |
LAM RESERACH CORPORATION |
发明人 |
YOUSUN, KIM TAYLOR;WENDY NGUYEN;CHRIS, G., N. LEE |
| 分类号 |
G03F7/40;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/321 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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