| 发明名称 | 放射线敏感性折射率变化性组合物以及折射率变化法 | ||
| 摘要 | 一种放射线敏感性折射率变化性组合物，其中含有(A)分解性化合物、(B)折射率高于分解性化合物(A)的非分解性化合物、(C)放射线敏感性分解剂、以及(D)稳定剂。通过图案掩模，向该组合物照射放射线，由此使放射线照射部分中的上述(C)成分和(A)成分分解，在放射线照射部分与放射线未照射部分之间产生折射率差，从而形成折射率不同的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1479769A | 申请公布日期 | 2004.03.03 |
| 申请号 | CN01820390.6 | 申请日期 | 2001.12.06 |
| 申请人 | 捷时雅株式会社 | 发明人 | 西村功;别所信夫;熊野厚司;下川努;山田宪司 |
| 分类号 | C08L101/00;G03F7/004;G03F7/38;G03F7/36 | 主分类号 | C08L101/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 钟守期;庞立志 |
| 主权项 | 1.一种放射线敏感性折射率变化性组合物，其特征在于，其中含有(A)分解性化合物、(B)折射率高于分解性化合物(A)的非分解性化合物、(C)放射线敏感性分解剂、以及(D)稳定剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||