化学气相沉积与渗透工艺先驱体供给及监控设备

摘要

本发明涉及一种适用于工业化生产的CVD/CVI工艺先驱体供给与监控设备，也可用于其他工业化腐蚀性液体的供给与监控。本发明将先驱体贮存罐与鼓泡瓶连接，实现CVD/CVI设备供气系统的全封闭。采用与鼓泡瓶相连的石英玻璃腔，作为先驱体监控与观察的窗口。采用浮球连杆装置，直接反映先驱体液位的高度。利用鼓泡瓶中的微负压和贮存罐中的微正压，作为先驱体供给的驱动力。通过液位信息的采集与比较，实现CVD/CVI过程中先驱体的自动供给、监控与适时观察，保持先驱体液位的恒定，彻底消除先驱体对大气的污染和对人体的危害，显著提高产品质量。

主权项

1、CVD/CVI工艺先驱体的供给与监控设备，该设备主要由鼓泡瓶、贮存罐、石英玻璃腔、浮球连杆装置、液位显示与控制系统、先驱体控制阀、气体流量控制阀等部分组成，其特征在于：采用全封闭的CVD/CVI供气系统，实现先驱体的自动供给、监控与适时观察。