| 摘要 |
本发明提供一种化学式(I)的磺酸盐：092123252p01.bmp其中Q^1，Q^2，Q^3，Q^4和Q^5各自独立地代表氢、具有1至16个碳原子的烷基、具有1至16个碳原子的烷氧基、卤素、具有6至12个碳原子的芳基、具有7至12个碳原子的芳烷基、氰基、硫化物、羟基、硝基或化学式(I’)的基092123252p02.bmp其中X代表亚烷基，和该亚烷基中的至少一个-CH2-可被-O-或-S-取代，和Cy^1代表具有3至20个碳原子的脂环烃，A＋为平衡离子，条件是Q^1，Q^2，Q^3，Q^4和Q^5中至少一个是化学式(I)的基。本发明还提供一种化学放大型光阻组成物，它包括化学式(I)的磺酸盐和一种树脂，该树脂含有对酸不稳定的基的结构单元，和它本身不溶或微溶于硷性水溶液，但藉由酸的作用可变得溶于硷性水溶液。 |
