SENSOR ELEMENT

摘要

Es wird ein schichtförmig aufgebautes Sensorelement (10) vorgeschlagen, das insbesondere zum Nachweis einer physikalischen Größe eines Messgases, vorzugsweise zum Nachweis der Temperatur des Messgases oder der Konzentration einer Gaskomponente des Messgases dient. Das Sensorelement (10) enthält eine in einer Schichtebene des Sensorelements (10) angeordneten Heizerleiterbahn (41), die einen Heizer (41 a) und eine Heizerzuleitung (41 b) umfasst, und die in eine Isolation (43, 43a, 43b) eingebettet ist. Die Isolation (43, 43a, 43b) ist in der Schichtebene der Heizerleiterbahn (41) zumindest bereichsweise von einem Dichtrahmen (44, 44a, 44b) umgeben. Die Ausdehnung des Dichtrahmens (44, 44b) in der Richtung parallel zu einer Schichtebene des Sensorelements (10) und senkrecht zur Längsachse des Sensorelements (10) beträgt zumindest bereichsweise mindestens 25 Prozent, vorzugsweise 30 bis 80 Prozent der Ausdehnung des Sensorelements (10) in dieser Richtung.