| 发明名称 | 微电机元件以及制造方法 | ||
| 摘要 | 一种制造微电机元件的方法，包括使用第一液体蚀刻位于第二层(150)之下的第一层(140)，将第二层暴露于无机的并且可与二氧化碳互溶的第二液体，以及用二氧化碳超临界干燥微电机元件。 | ||
| 申请公布号 | CN1478054A | 申请公布日期 | 2004.02.25 |
| 申请号 | CN01816888.4 | 申请日期 | 2001.10.04 |
| 申请人 | 摩托罗拉公司 | 发明人 | 乔纳森·F·格莱尔;格丹拿·S·尼尔森 |
| 分类号 | B81C1/00;B81B3/00 | 主分类号 | B81C1/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种制造微电机元件的方法，包括：使用第一液体蚀刻位于第二层之下的第一层；在使用第一液体之后，将第二层暴露于第二液体，第二液体是无机的并且可与二氧化碳互溶；在将第二层暴露于第二液体之后，用二氧化碳超临界干燥微电机元件。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺斯 | ||