| 发明名称 |
Using scanning probe microscope topographic data to repair photomask defect using charged particle beams |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003265469(A8) |
申请公布日期 |
2004.02.25 |
| 申请号 |
AU20030265469 |
申请日期 |
2003.08.08 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
VALERY RAY;DAVID C. FERRANTI;GERALD SMITH;CHRISTIAN R. MUSIL |
| 分类号 |
B05D3/06;C23C14/22;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/58;B32B35/00 |
主分类号 |
B05D3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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