发明名称 Sputtering target with ultrafine oriented grains
摘要
申请公布号 EP1053810(B1) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 EP20000118588 申请日期 1995.12.22
申请人 JOHNSON MATTHEY ELECTRONICS INC 发明人 DUNLOP, JOHN ALDEN;KARDOKUS, JANINE KIYABU;YUAN, JUN;EMIGH, ROGER ALAN
分类号 C22F1/04;B21C23/01;B22F3/115;B22F3/20;B22F3/24;C22C1/04;C22C21/00;C23C14/34;(IPC1-7):B22F3/00;B22F7/04 主分类号 C22F1/04
代理机构 代理人
主权项
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