发明名称 CYCLIC ERROR REDUCTION IN AVERAGE INTERFEROMETRIC POSITION MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 EP1390690(A2) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 EP20020726612 申请日期 2002.03.13
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 HILL, HENRY, A.
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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