| 发明名称 |
A METHOD OF POLISHING A WAFER OF MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003253208(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.25 |
| 申请号 |
AU20030253208 |
申请日期 |
2003.07.30 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
CLAIRE RICHTARCH;FABRICE LETERTRE |
| 分类号 |
B24B57/02;B24B37/04;B44C1/22;C09K3/14;C30B33/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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