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发明名称 ULTRADÜNNER DETEKTOR FÜR IONISIERENDE STRAHLUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69626547(T2) 申请公布日期 2004.02.19
申请号 DE19966026547T 申请日期 1996.12.18
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 FOULON, FRANCOIS;SPIRKOVITCH, SERGE;BABADJIAN, LIONEL
分类号 H01L31/09;G01T1/24;H01L31/0352;H01L31/103;H01L31/108;(IPC1-7):H01L31/103;H01L31/035;H01L31/115 主分类号 H01L31/09
代理机构 代理人
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