图案形成材料以及图案形成方法

摘要

一种图案形成材料，是由具有在酸的存在下对显影液的溶解性发生变化的聚合物、照射曝光用光时产生酸的酸发生剂、照射曝光用光时产生碱的碱发生剂的化学放大型抗蚀材料构成。照射曝光能相等的极紫外线或具有比极紫外线长的波段的长波段的光作为曝光用光时，碱发生剂的感光度在照射长波段光时比照射极紫外线时更高。根据本发明的图案形成材料，使得到的抗蚀图的截面形状质量得到提高。

主权项

1、一种图案形成材料，其特征在于，由具有在酸的存在下对显影液的溶解性发生变化的聚合物、照射曝光用光时产生酸的酸发生剂、照射所述曝光用光时产生碱的碱发生剂的化学放大型抗蚀材料构成；作为所述曝光用光照射曝光能相等的极紫外线或具有比极紫外线长的波段的长波段的光时，所述碱发生剂的感光度在照射所述长波段光时比照射所述极紫外线时更高。