发明名称 发光器件的制造方法
摘要 本发明的一个目的是减小或消除具有有机化合物的发光元件中出现的各种缺陷模式(收缩、黑斑等)。本发明通过使阻挡层111的上部或下部形成有曲率半径的曲面抑制在发光元件刚制造完成后就产生的不发光区,用多孔海绵清洗阳极110的表面以去除散布在阳极表面上的微粒,并在就要形成含有机化合物的层112前,通过进行真空加热以去除其上配有TFT和阻挡层的整个衬底表面上的吸收水,来抑制收缩出现。
申请公布号 CN1476048A 申请公布日期 2004.02.18
申请号 CN03132892.X 申请日期 2003.07.25
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 村上智史;长尾里筑子;坂仓真之;仲泽美佐子;宫城德子;池田寿雄;土屋薰;石垣步;高桥正弘;松田宪之;大原宏树
分类号 H01L21/00;H05B33/10;H01L51/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 吴立明;梁永
主权项 1.一种具有发光元件的发光器件的制造方法,发光元件具有阳极、与所述阳极接触的含有机化合物的层,和与所述含有机化合物的层接触的阴极,所述方法包含的步骤有:形成阳极;形成覆盖所述阳极端部的绝缘材料;用多孔海绵清洗所述阳极的表面;在形成含有机化合物的层之前立即进行真空加热;形成所述含有机化合物的层;和形成阴极。
地址 日本神奈川县厚木市