将弹性带设置到在研磨或抛光晶片时所使用的夹盘上的工具

摘要

一种用于将胶带(34)设置在夹盘(12)的表面(6)上的工具，包括一可移动的真空腔(24)，该真空腔(24)与所述夹盘密封接合，并利用定位销(32)实现相对于夹盘的定位。所述真空腔包括冲头(28)，将胶带设置在该冲头上，利用定位销对胶带进行定位。所述冲头与真空腔一起向夹盘移动，直到所述胶带与夹盘表面接触为止。然后将所述冲头从夹盘表面撤回，解除真空。胶带上的孔与夹盘表面上的开口对齐，利用真空腔，空气不会滞留在胶带和夹盘表面之间。

主权项

1、一种将带设置在夹盘表面上的方法，所述带具有涂有粘合剂的表面，该方法使所述带上预切出的孔图型与夹盘表面上相同的孔图型对齐，并阻止空气滞留在带和夹盘表面之间，所述方法包括如下步骤：在包括定位销的冲头上对带进行定位，所述定位销穿过上述带上的一些孔，使所述带上具有粘合剂的表面暴露以面对着夹盘表面；将冲头和夹盘表面之间的空间抽空；使冲头向夹盘表面移动，直到带上具有粘合剂的表面与夹盘表面接触为止；撤回冲头；解除真空。