用高频光强调制绿激光微弱信号测距测厚的系统

摘要

一种利用相位测距法原理设计的用高频光强调制绿激光微弱信号测距测厚系统，由锁相稳频、激光发射与调制、光电接收检测，低频选频放大与整形和鉴相显示五部分组成。该系统采用绿激光做光源，与红激光相比，在炉衬测厚仪中，可大大提高信噪比和测量灵敏度，并可采用内调制绿激光源，做到体积小、成本低、效率高，结构简单，使用方便安全，前景非常好。

主权项

1.一种用高频光强调制绿激光微弱信号测距测厚的系统，为根据相位测距法原理研制成的一套实验检测系统，包括锁相稳频、激光发射与调制、光电接收检测、低频选频放大与整形和鉴相显示五部分组成，本系统以锁相稳频提供主振信号、本振信号以及主、本振的差频信号，主振为温补晶振，光电接收检测部分的探测器采用光电倍增管接收被测物漫反射回来的微弱光信号，并在光电倍增管的阴极与温补晶振进行混频，其特征是激光光源采用半导体泵浦的固体绿激光器，输出波长为532nm，用声光调制器进行外调制将激光光强调制到10MHz以上的频率。