摘要 |
具有(a)将SiC粉末,和做为碳源之有机物质于溶剂中溶解、分散,制造浆状混合粉体之步骤;(b)将该混合粉体流入成形模并且令其乾燥取得胚体之步骤;(c)将该胚体于真空或惰性气体环境下以1500~2000℃假烧取得假烧体之步骤;(d)将该假烧体予以假成形取得假成形体之步骤;(e)令该假成形体经由毛细管现象含浸熔融的金属Si,且令该假成形体中之游离碳与该假成形体中吸上之Si反应取得碳化矽烧结体之步骤;(f)对该碳化矽烧结体进行精密加工取得碳化矽烧结体工模之步骤;为其特征之碳化矽烧结体工模之制造方法。若根据本发明,则提供可缩短加工时间之碳化矽烧结体工模之制造方法及依该制造方法所得之碳化矽烧结体工模。 |