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经营范围
发明名称
POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号
AU2003252687(A1)
申请公布日期
2004.02.16
申请号
AU20030252687
申请日期
2003.07.25
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
EIJI ARIIZUMI;HIROSHI ARAI;YUTAKA UDA
分类号
B24B37/04;B24B49/16;(IPC1-7):H01L21/304;B24B37/00;B24B57/02
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
主权项
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