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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEM WACHSEN EINES MATERIALS AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT259432(T) 申请公布日期 2004.02.15
申请号 AT20000927574T 申请日期 2000.05.12
申请人 EMF IRELAND LIMITED 发明人 ROBINSON, MICHAEL FRANKS
分类号 C30B29/38;C23C16/44;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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