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发明名称 UNIVERSAL BACKPLANE ASSEMBLY AND METHODS
摘要
申请公布号 EP1388162(A1) 申请公布日期 2004.02.11
申请号 EP20020729041 申请日期 2002.04.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 CALDWELL, DOUG;GARCIA, ALBERT, JR.;HORBACK, THOMAS, J.;LOMBARDI, MICHAEL, JAMES;MCNICHOLAS, MARK;MIZE, DEAN;WANG, GON
分类号 H01L21/02;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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