发明名称 METHOD FOR TRANSFERRING AN ELECTRICALLY ACTIVE THIN LAYER
摘要
申请公布号 AU2003269024(A1) 申请公布日期 2004.02.09
申请号 AU20030269024 申请日期 2003.07.15
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 LEA DI CIOCCIO;FABRICE LETERTRE;ELSA HUGONNARD-BRUYERE
分类号 C23C14/48;H01L21/205;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
地址