发明名称 |
METHOD FOR TRANSFERRING AN ELECTRICALLY ACTIVE THIN LAYER |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003269024(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.09 |
申请号 |
AU20030269024 |
申请日期 |
2003.07.15 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
LEA DI CIOCCIO;FABRICE LETERTRE;ELSA HUGONNARD-BRUYERE |
分类号 |
C23C14/48;H01L21/205;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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