| 发明名称 |
Ionenstrahl-Sputtering-System |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69812828(T2) |
申请公布日期 |
2004.02.05 |
| 申请号 |
DE19986012828T |
申请日期 |
1998.09.14 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK |
发明人 |
PINARBASI, MUSTAFA |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/46;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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