| 摘要 |
L'invention concerne un dispositif de photodétection de type MSM destiné à détecter une lumière incidente et comprenant, en superposition sur un suppor t (1), des moyens réfléchissants (2) formant un premier miroir pour une cavité résonnante de type Fabry-Pérot, une couche d'un matériau n'absorbant pas la lumière (3), une couche active (4) en matériau semiconducteur absorbant la lumière incidente et un réseau d'électrodes (5) de polarisation et de collec te du signal détecté. Le réseau d'électrodes est disposé sur la couche active e t est constitué de bandes parallèles régulièrement espacées selon une période inférieure à la longueur d'onde de la lumière incidente, le réseau d'électrodes constituant un deuxième miroir pour la cavité résonnante, les caractéristiques optiques de ce deuxième miroir étant déterminées par les dimensions géométriques desdites bandes conductrices. La distance séparant l e premier miroir du deuxième miroir est déterminée pour obtenir entre ces deux miroirs une résonance de type Fabry-Pérot pour la lumière incidente. |
