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发明名称 Verfahren zum Entfernen von Verunreinigungen durch Bürsten
摘要
申请公布号 DE69631258(D1) 申请公布日期 2004.02.05
申请号 DE1996631258 申请日期 1996.10.11
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 DELARIOS, JOHN M.;GARDNER, G.;RAVKIN, MIKHAIL
分类号 A46B11/06;B08B1/04;B08B3/08;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):B08B1/04 主分类号 A46B11/06
代理机构 代理人
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