| 发明名称 | 形成精细间隔壁的方法,生产平面显示装置的方法,及喷射加工用磨料 | ||
| 摘要 | 公开了一种形成精细间隔壁的方法，用该方法可以利用喷射加工技术形成具有稳定形状的精细间隔壁，同时具有良好的加工精度和良好的研磨效率，一种通过应用上述方法生产平面显示装置的方法，及一种待在这些方法中使用的喷射加工用磨料。精细间隔壁是通过一种磨料喷射加工法在基底的表面上形成，上述磨料由其表面上涂覆有硅酮的碳酸钙粉组成。构成磨料的每个粒子都具有一种三维形状，该三维形状由许多不同尺寸的三角形或多角形多面体层组成。磨料的最大粒径不大于精细间隔壁宽度(W1)的1/2倍，且磨料的平均粒径不大于精细间隔壁宽度(W1)的1/5倍。此外，磨料的最大粒径不大于10μm。精细间隔壁(24)的间距(P1)不大于150μm，精细间隔壁(24)的宽度(W1)不大于 50μm，及精细间隔壁(24)的高度(H1)不大于300μm。抗蚀剂膜(30)的厚度不大于精细间隔壁(24)宽度(W1)的1.2倍。 | ||
| 申请公布号 | CN1473093A | 申请公布日期 | 2004.02.04 |
| 申请号 | CN02802801.5 | 申请日期 | 2002.07.17 |
| 申请人 | 索尼公司 | 发明人 | 吉川英太郎;森启;木村友广;川口英广 |
| 分类号 | B24C11/00 | 主分类号 | B24C11/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;章社杲 |
| 主权项 | 1.一种形成精细间隔壁的方法，其中精细间隔壁是通过用磨料的喷射加工法在一基底上形成，上述磨料由其表面上涂覆有硅酮(silicone)的碳酸钙粉组成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||