结晶薄膜品质监控系统及方法

摘要

本发明是一种结晶薄膜品质监控系统及方法，所述系统包含一讯号撷取系统及一数据整合系统两部分，该讯号撷取系统包含有：至少一可投射的光源单元及至少一可承载待测的结晶薄膜的承载单元，以光源照射置于承载单元上的待测结晶薄膜；以一感测单元组撷取该光源照射过待测结晶薄膜的讯号；一数据整合系统是与该感测单元组联机，以该数据处理器整合该结晶薄膜讯号数据，可整合处理来自讯号撷取系统的数据，并将该整合后的数据输入于一数据库并进行搜寻；将该结晶薄膜讯号数据与该数据库的数据以若干模块进行校正、比对、判断等步骤，并依据比对结果产生一可供判读的结果信息；最后，结果信息输出于操作者端。

主权项

1.一种结晶薄膜品质监控系统，用于监控结晶薄膜的品质，包括：一讯号撷取系统及一与其联机的数据整合系统，该讯号撷取系统包含：至少一光源单元，可投射出光源；至少一承载单元，各该承载单元是可承载若干待测的结晶薄膜，且所述光源单元投射出的光源可通过所述承载单元承载的结晶薄膜；一感测单元组，接收感测所述光源单元投射出的光源，于通过所述承载单元承载的结晶薄膜的光源讯号；其中，该数据整合系统是与该感测单元组联机，可整合处理来自该讯号撷取系统的数据。