用于半导体制造装置的控制系统

摘要

为了减小当一个分档器处理多种产品时出现的晶片传送停止时间，在第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光完成之前，从主计算机2获得用于第二盒子端口7b的半导体晶片的处理方法，通过定序器5检测第一盒子端口7a的半导体晶片的曝光进程，根据所获得的处理方法判断第二盒子端口7b的半导体晶片是否可以被传送到在第一盒子端口7a的最后一个半导体晶片之后的曝光阶段，并且使得分档器1根据该判断结果和进程检测结果执行曝光。

主权项

1.一种用于半导体制造装置的控制系统，其根据从主计算机获取的信息控制处理容纳于能够容纳多个晶片的盒子中的晶片的半导体制造装置，其特征在于该控制系统包括：信息获取装置，用于在容纳于预定盒子中的第一组晶片的处理完成之前从所述主计算机获取信息，当处理第二组晶片时要参照该信息，第二组晶片被容纳在与所述预定盒子不同的一个盒子中，并且在所述第一组晶片之后被处理；进程检测装置，用于从所述半导体制造装置检测所述第一组晶片的处理进程；以及处理指示装置，用于根据由所述信息获取装置所获取的信息判断所述第二组晶片是否可以被传送到在所述第一组晶片之后的处理阶段，并且指示所述半导体制造装置根据该判断结果和由所述进程检测装置的检测结果执行处理。