制造黏合基板之方法及装置

摘要

一种制造具有较少生产缺陷的黏合基板之装置，一按压机包含一由一上容器与一下容器所形成的真空处理阀室、两块支撑板用以支撑两块基板、及一加压机构用以将上支撑板向下移动。该容器经由上风箱被连接至该加压机构，该下容器经由下风箱被连接至一定位平台，该等上与下风箱防止该真空处理阀室的变形被传送至该两个支撑板。