| 主权项 |
1.一种隔层形成用聚醯胺酸树脂组成物,其特征系含有下式(1)(R1为构成四羧酸或其衍生物之4价有机基者,R2为构成二胺之2价有机基者,k为整数者)所代表之重覆单位,且还原粘度为0.05~5.0dl/g(温度30℃之N-甲基咯烷酮中,浓度0.5g/dl)之聚醯胺酸﹝a﹞,与含有下式﹝2﹞(R3为构成四羧酸或其衍生物之4价有机基者,R4为构成二胺之2价有机基者,R4之1~100莫耳%为具有1个或复数个碳数2以上之含氟烷基,1为整数)所代表之重覆单位,且还原粘度为0.05~5.0dl/g(温度30℃之N-甲基咯烷酮中,浓度0.5g/dl)之聚醯胺酸﹝b﹞者,其中,聚醯胺酸﹝b﹞之含量为对聚醯胺酸﹝a﹞与聚醯胺酸﹝b﹞总量之0.1~30wt%者。2.如申请专利范围第1项之聚醯胺酸树脂组成物,其中该式(1)之R1为构成1,2,3,4-环丁烷四羧酸或其衍生物之4价有机基者。3.如申请专利范围第1项之聚醯胺酸树脂组成物,其中该式(2)之R3为构成1,2,3,4-环丁烷四羧酸或其衍生物之4价有机基者。4.如申请专利范围第2项之聚醯胺酸树脂组成物,其中该式(2)之R3为构成1,2,3,4-环丁烷四羧酸或其衍生物之4价有机基者。5.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之聚醯胺酸树脂组成物,其中该组成物系涂布正型抗蚀剂于涂膜后,介着光罩进行曝光,以硷显像液进行显像,将抗蚀剂剥离后进行加热之后,做成聚醯亚胺树脂时,其未曝光部之聚醯亚胺树脂涂膜上部表面能量为35dyn/cm以下者。6.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之聚醯胺酸树脂组成物,其中该组成物于涂膜上涂布正型抗蚀剂,介着光罩曝光,以硷显像液进行显像,将抗蚀剂剥离后进行加热,做为聚醯亚胺树脂时,其未曝光部之聚醯亚胺树脂涂膜上部水之接触角为80以上者。 |
