| 主权项 |
1.一种低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其包含有:一流体结构,系具有一流体通道及连接于该流体通道之一流体开口,流体系填注于该流体通道当中并经由该流体开口进出;及一个以上的热气泡薄膜式致动器,该热气泡薄膜式致动器系由一弹性薄膜所形成之一密闭液室底部设置一加热片所组成,该密闭液室系透过该弹性薄膜隔邻于该流体通道并填充有一低沸点液体,该加热片系用以加热该低沸点液体以产生气泡对该弹性薄膜产生压迫与放松的动作,使该密闭液室的体积膨胀和收缩以驱动该流体通道内的流体。2.如申请专利范围第1项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该流体结构系由厚膜光阻所形成。3.如申请专利范围第1项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该弹性薄膜之材质可选自矽橡胶(silicone rubber)、聚二甲基矽氧烷(Polydimethyl siloxane, PDMS)和聚对苯二甲烯(Parylene)所组成的族群其中之一。4.如申请专利范围第1项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该加热片之材质可选自钽铝化合物(TaA1)、二硼化铪(HfB2)、铂(Pt)、金铬化合物(AuCr)和多晶矽(polysilicon)所组成的族群其中之一。5.一种低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其包含有:一流体结构,系具有一流体通道及连接于该流体通道两端之一第一流体开口和一第二流体开口,流体系填注于该流体通道当中并经由该第一流体开口和该第二流体开口进出;及三个热气泡薄膜式致动器,该热气泡薄膜式致动器系由一弹性薄膜所形成之一密闭液室底部设置一加热片所组成,该密闭液室系透过该弹性薄膜隔邻于该流体通道并填充有一低沸点液体,该加热片系用以加热该低沸点液体以产生气泡对该弹性薄膜产生压迫与放松的动作,使该密闭液室的体积膨胀和收缩以驱动该流体通道内的流体,该每一热气泡薄膜式致动器之该弹性薄膜系依流体驱动之需求形成顶起、平整和下凹的状态。6.如申请专利范围第5项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该流体结构系由厚膜光阻所形成。7.如申请专利范围第5项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该弹性薄膜之材质可选自矽橡胶(silicone rubber)、聚二甲基矽氧烷(Polydimethyl Siloxane, PDMS)和聚对苯二甲烯(Parylene)所组成的族群其中之一。8.如申请专利范围第5项所述之低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动器,其中该加热片之材质可选自钽铝化合物(TaA1)、二硼化铪(HfB2)、铂(Pt)、金铬化合物(AuCr)和多晶矽(polysilicon)所组成的族群其中之一。图式简单说明:第1图和第2图为本发明第一实施例之操作示意图;第3图为本发明第二实施例之示意图;及第4图和第5图为本发明第二实施例之操作示意图。 |
