| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES PARTIKELS OPTISCHEN GERÄTES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69721241(T2) |
申请公布日期 |
2004.01.29 |
| 申请号 |
DE19976021241T |
申请日期 |
1997.11.06 |
| 申请人 |
FEI CO., HILLSBORO |
发明人 |
KRIJN, PETRUS;HENSTRA, ALEXANDER |
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/141;H01J37/28;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/141 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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