流量控制装置

摘要

一种流量控制装置(1)，包括：连接流体流路的上游侧与下游侧的开口部(5)；用于调整该开口部(5)的开口面积和调整通过该开口部的流体流量的阀体(5)；以及使阀体(6)相对于开口部(5)进行相对移动的阀驱动装置(3)。阀驱动装置(3)具有：作为驱动源的步进电机；以及阀体(6)在与开口部(5)接近的方向或分开的方向上、变换该电机的输出轴(35)的回转进行传递的并由齿轮组构成的传递机构(70)。阀体(6)具有朝开口部(5)的方向直径变细的前端形状，变细的前端部分(62)进入开口部(5)的内侧，进行开度的调整。由此，可提供一种采用新的阀机构以及阀驱动机构来消除杂音和震动、并可高精度控制流量的流量控制装置。

主权项

1一种流量控制装置，包括：连接流体流路的上游侧与下游侧的开口部；用于调整该开口部的开口面积和调整通过该开口部的流体流量的阀体；以及使该阀体相对于所述开口部进行相对移动的阀驱动装置，其特征在于，所述阀驱动装置具有：作为驱动源的电机；以及所述阀体在与所述开口部接近的方向或分开的方向上变换该电机的输出进行传递的传递机构，所述阀体具有朝所述开口部方向直径变细的前端形状，并且，在朝着与所述电机的输出轴交叉的方向进行驱动并接近于所述开口部时，所述变细的前端部分进入该开口部的内侧。