发明名称 Anordnung zum Herstellen von Bearbeitungsmasken für die Fertigung von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 AT262377(B) 申请公布日期 1968.06.10
申请号 AT19620009835 申请日期 1962.12.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址