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发明名称
摘要
申请公布号
JP3491050(B2)
申请公布日期
2004.01.26
申请号
JP19970189954
申请日期
1997.07.15
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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