| 发明名称 |
TRANSFER OF A THIN LAYER FROM A WAFER COMPRISING A BUFFER LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003249475(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.23 |
| 申请号 |
AU20030249475 |
申请日期 |
2003.07.09 |
| 申请人 |
S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
BRUNO GHYSELEN;CECILE AULNETTE;BENEDITE OSTERNAUD;NICOLAS DAVAL |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
