| 发明名称 |
REAKTOR MIT MIKROUMGEBUNG ZUR VERARBEITUNG EINES MIKROELEKTRONISCHEN WERKSTÜCKS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69913521(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.22 |
| 申请号 |
DE19996013521 |
申请日期 |
1999.03.15 |
| 申请人 |
SEMITOOL, INC. |
发明人 |
CURTIS, L.;THOMPSON, F.;PEACE, L. |
| 分类号 |
B08B3/04;B05C11/08;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):B08B3/02 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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