| 发明名称 | 具防止铜扩散阻障效果之介电质 | ||
| 摘要 | 本发明系关于新颖的多－邻－羟基醯胺类，其可被环化为具对金属的良好扩散阻障效果之聚苯并恶唑类。这些多－邻－羟基醯胺类可由知技术施用于半导体基材及藉由加热以简单方式转化为聚苯并恶唑。因为对金属扩散的良好阻障效果。在导体轨迹及介电体间的扩散阻障基本上可免除。 | ||
| 申请公布号 | CN1468839A | 申请公布日期 | 2004.01.21 |
| 申请号 | CN03145283.3 | 申请日期 | 2003.06.27 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | R·塞滋;A·瓦尔特;A·马坦伯格;K·洛瓦克 |
| 分类号 | C07C235/70;C07D207/14;C07D207/24;C07D209/00;C07D213/75;C07D215/38;C07D239/42;C07F7/08;C08G73/22 | 主分类号 | C07C235/70 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 马崇德 |
| 主权项 | 1.一种分子式I的多-邻-羟基醯胺：<img file="A0314528300021.GIF" wi="1517" he="155" />分子式I其中Y<sup>2</sup>为<img file="A0314528300022.GIF" wi="1186" he="217" />Y<sup>1</sup>及Y<sup>3</sup>彼此独立个别具与Y<sup>2</sup>相同的意义，且为<img file="A0314528300023.GIF" wi="1486" he="949" /><img file="A0314528300031.GIF" wi="1479" he="1210" />Z<sup>1</sup>、Z<sup>2</sup>及Z<sup>3</sup>皆独立，为<img file="A0314528300032.GIF" wi="1465" he="255" /><img file="A0314528300041.GIF" wi="1466" he="1210" />A，若a＝0及/或d＝1，为*-H<img file="A0314528300042.GIF" wi="1195" he="263" /><img file="A0314528300043.GIF" wi="1463" he="245" /><img file="A0314528300051.GIF" wi="1505" he="632" />若a＝1及/或d＝0，为*-OH<img file="A0314528300052.GIF" wi="927" he="126" />*-NH<sub>2</sub><img file="A0314528300053.GIF" wi="1027" he="161" /><img file="A0314528300054.GIF" wi="1455" he="309" />E为<img file="A0314528300055.GIF" wi="1494" he="392" /><img file="A0314528300061.GIF" wi="1479" he="1275" />W为*-H *-CN<img file="A0314528300062.GIF" wi="917" he="201" /><img file="A0314528300063.GIF" wi="1400" he="136" /><img file="A0314528300064.GIF" wi="625" he="121" />*-C≡CH<img file="A0314528300065.GIF" wi="378" he="178" /><img file="A0314528300071.GIF" wi="1597" he="1358" />T为<img file="A0314528300072.GIF" wi="484" he="217" />*-O-* *-S-*<img file="A0314528300073.GIF" wi="197" he="213" />Q为*-O-* *-S-*<img file="A0314528300074.GIF" wi="196" he="111" />R<sup>1</sup>为*-H<img file="A0314528300081.GIF" wi="978" he="131" /><img file="A0314528300082.GIF" wi="1258" he="181" />R<sup>2</sup>为-H、-CF<sub>3</sub>、-OH、-SH、-COOH、-N(R<sup>5</sup>)<sub>2</sub>、烷基、芳香基、杂芳香基及*-C≡CH<img file="A0314528300083.GIF" wi="1108" he="131" /><img file="A0314528300084.GIF" wi="1640" he="1394" />R3为*-O-*<img file="A0314528300091.GIF" wi="370" he="109" />*-S-* *-SO<sub>2</sub>* *-S<sub>2</sub>*<img file="A0314528300092.GIF" wi="147" he="72" /><img file="A0314528300093.GIF" wi="228" he="179" />*-C≡C-*<img file="A0314528300094.GIF" wi="679" he="179" /><img file="A0314528300095.GIF" wi="1534" he="1421" />R<sup>4</sup>为*-H<img file="A0314528300096.GIF" wi="898" he="138" /><img file="A0314528300097.GIF" wi="898" he="163" />R<sup>5</sup>为烷基、芳香基或杂芳香自由基；a为0或1；b为1-200；c为0-200；d为0或1；e为0-10；f为0-10；g为0-10；h为0-10；n为0或1；x为0-10若R<sup>3</sup>为-CH<sub>2</sub>-。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||