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发明名称
Cleaning and drying apparatus for objects to be processed
摘要
申请公布号
EP0884764(A3)
申请公布日期
2004.01.21
申请号
EP19980110895
申请日期
1998.06.15
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
KAMIKAWA, YUJI
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B08B3/04
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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