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发明名称 PLASMA TREATING OF A CHEMICAL SPECIES
摘要
申请公布号 AU2003238261(A1) 申请公布日期 2004.01.19
申请号 AU20030238261 申请日期 2003.06.18
申请人 MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE 发明人 PAUL, A. VONALLMEN;FREDERIC, ZENHAUSERN;BERNARD, F. COLL
分类号 B01D53/32;(IPC1-7):B01D53/32 主分类号 B01D53/32
代理机构 代理人
主权项
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