发明名称 Integrated circuit on a quartz substrate
摘要
申请公布号 AU2003247242(A8) 申请公布日期 2004.01.19
申请号 AU20030247242 申请日期 2003.06.25
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 THOMAS LANGER
分类号 H01L27/12;H01L27/20;H03H9/05;(IPC1-7):H01L27/20 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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