发明名称 |
Integrated circuit on a quartz substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003247242(A8) |
申请公布日期 |
2004.01.19 |
申请号 |
AU20030247242 |
申请日期 |
2003.06.25 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
THOMAS LANGER |
分类号 |
H01L27/12;H01L27/20;H03H9/05;(IPC1-7):H01L27/20 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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